|
|
|
|
|
|
Разраб.
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Н.
контр.
|
|
|
|
|
МК
|
|
|
|
2
|
|
МГОУ
|
605124
|
|
605124
МК
|
|
В
|
Цех
|
УЧ.
|
РМ
|
Опер.
|
Код,
наименование операции
|
|
|
Г
|
Обозначение
документа
|
|
Д
|
Код,
наименование оборудования
|
|
Е
|
см
|
проф
|
Р
|
УТ
|
КР
|
КОИД
|
ЕН
|
ОП
|
К шт
|
Тпз
|
Т шт
|
|
Л/М
|
Наименование
детали, сб. единицы или материала
|
|
Н/М
|
Обозначение,
код
|
ОПП
|
ЕВ
|
ЕН
|
КИ
|
Н.
расх.
|
|
|
М 1
|
ТУ 2378-005-29135749 Фоторезист ФП 383
|
|
Н 2
|
Склад
Л 1 5·10-3
|
|
Д 3
|
EVG 101 Установка
нанесения, проявления и снятия фоторезиста OSTEC
|
|
4
|
|
|
В 5
|
020 1я
сушка
|
|
6
|
|
|
Г 7
|
605124 ОКУ
|
|
8
|
|
|
Т 9
|
БАВнп-01 1,2(01) БОКС укрытие
"Ламинар-С"
|
|
Т 10
|
ТУ 64 – 1 – 37 – 78 Пинцет ПС 160 30
|
|
Т 11
|
ВТМ 4. 189. 017 Тара для
хранения пластин
|
|
Д 12
|
HP 150 Установка сушильная
Sawatec
|
|
13
|
|
|
В 14
|
025
Совмещение и экспонирование
|
|
15
|
|
|
Г 16
|
605124 ОКУ
|
|
17
|
|
|
Т 18
|
БАВнп-01 1,2(01) БОКС укрытие
"Ламинар-С"
|
|
Т 19
|
ТУ 64 – 1 – 37 – 78 Пинцет ПС 160 30
|
|
Т 20
|
ВТМ 4. 189. 017 Тара для
хранения пластин
|
|
Д 21
|
EVG 620 Установка
совмещения и экспонирования OSTEC
|
|
22
|
|
|
В 23
|
030 Проявление
фоторезиста
|
|
24
|
|
|
Г 25
|
605124 ОКУ
|
|
26
|
|
|
Т 27
|
БАВнп-01 1,2(01) БОКС укрытие
"Ламинар-С"
|
|
Т 28
|
ТУ 64 – 1 – 37 – 78 Пинцет ПС 160 30
|
|
Т 30
|
ВТМ 4. 189. 017 Тара для
хранения пластин
|
|
|
|
|
|
|
Разраб.
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Н.
контр.
|
|
|
|
|
МК
|
Маршрутная
карта
|
|
|
3
|
|
МГОУ
|
605124
|
|
605124
МК
|
|
В
|
Цех
|
УЧ.
|
РМ
|
Опер.
|
Код,
наименование операции
|
|
|
Г
|
Обозначение
документа
|
|
Д
|
Код,
наименование оборудования
|
|
Е
|
см
|
проф
|
Р
|
УТ
|
КР
|
КОИД
|
ЕН
|
ОП
|
К шт
|
Тпз
|
Т шт
|
|
Л/М
|
Наименование
детали, сб. единицы или материала
|
|
Н/М
|
Обозначение,
код
|
ОПП
|
ЕВ
|
ЕН
|
КИ
|
Н.
расх.
|
|
|
М 1
|
ТУ 2378-007-29135749 Проявитель
УПФ-1Б
|
|
Н 2
|
Склад
Л 1 0.4
|
|
Д 3
|
EVG 101 Установка
нанесения, проявления и снятия фоторезиста OSTEC
|
|
4
|
|
|
В 5
|
035 2я
сушка
|
|
6
|
|
|
Г 7
|
605124 ОКУ
|
|
8
|
|
|
Т 9
|
БАВнп-01 1,2(01) БОКС укрытие
"Ламинар-С"
|
|
Т 10
|
ТУ 64 – 1 – 37 – 78 Пинцет ПС 160 30
|
|
Т 11
|
ВТМ 4. 189. 017 Тара для
хранения пластин
|
|
Д 12
|
HP 150 Установка
сушильная Sawatec
|
|
13
|
|
|
В 14
|
040
Контроль рельефа рисунка фоторезиста
|
|
15
|
|
|
Г 16
|
605124 ОК
|
|
17
|
|
|
Т 18
|
БАВнп-01 1,2(01) БОКС укрытие
"Ламинар-С"
|
|
Т 19
|
ТУ 64 – 1 – 37 – 78 Пинцет ПС 160 30
|
|
Т 20
|
ВТМ 4. 189. 017 Тара для
хранения пластин
|
|
Д 21
|
ТУ 3-3.1210-75М Микроскоп
инспекционный Nikon Eclipse L200A
|
|
22
|
|
|
В 23
|
045 Травление
подложки
|
|
24
|
|
|
Г 25
|
605124 ОКУ
|
|
26
|
|
|
Т 27
|
БАВнп-01 1,2(01) БОКС укрытие
"Ламинар-С"
|
|
Т 28
|
ТУ 64 – 1 – 37 – 78 Пинцет ПС 160 30
|
|
Т 30
|
ВТМ 4. 189. 017 Тара для
хранения пластин
|
|
|
|
|
|
|
Разраб.
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Н.
контр.
|
|
|
|
|
МК
|
Маршрутная
карта
|
|
|
4
|
|
МГОУ
|
605124
|
|
605124
МК
|
|
В
|
Цех
|
УЧ.
|
РМ
|
Опер.
|
Код,
наименование операции
|
|
|
Г
|
Обозначение
документа
|
|
Д
|
Код,
наименование оборудования
|
|
Е
|
см
|
проф
|
Р
|
УТ
|
КР
|
КОИД
|
ЕН
|
ОП
|
К шт
|
Тпз
|
Т шт
|
|
Л/М
|
Наименование
детали, сб. единицы или материала
|
|
Н/М
|
Обозначение,
код
|
ОПП
|
ЕВ
|
ЕН
|
КИ
|
Н.
расх.
|
|
|
М 1
|
Травитесь
|
|
Н 2
|
Склад Л 1 0.6
|
|
Д 3
|
Установка
травления
|
|
4
|
|
|
В 5
|
050
Снятие пленки фоторезиста
|
|
6
|
|
|
Г 7
|
605124 ОКУ
|
|
8
|
|
|
Т 9
|
БАВнп-01 1,2(01) БОКС укрытие
"Ламинар-С"
|
|
Т 10
|
ТУ 64 – 1 – 37 – 78 Пинцет ПС 160 30
|
|
Т 11
|
ВТМ 4. 189. 017 Тара для
хранения пластин
|
|
М 12
|
ТУ 2378-008-29135749
Сниматель СПР-01Ф
|
|
Н 13
|
Склад
Л 1 0.8
|
|
Д 14
|
EVG 101 Установка
нанесения, проявления и снятия фоторезиста OSTEC
|
|
15
|
|
|
В 16
|
055 Контроль
рельефа рисунка подложки
|
|
17
|
|
|
Г 18
|
605124 ОК
|
|
19
|
|
|
Т 20
|
БАВнп-01 1,2(01) БОКС укрытие
"Ламинар-С"
|
|
Т 21
|
ТУ 64 – 1 – 37 – 78 Пинцет ПС 160 30
|
|
Т 22
|
ВТМ 4. 189. 017 Тара для
хранения пластин
|
|
Д 23
|
ТУ 3-3.1210-75М Микроскоп
инспекционный Nikon Eclipse L200A
|
|
24
|
|
|
25
|
|
|
26
|
|
|
27
|
|
|
28
|
|
|
30
|
|
|
|
|
|
|
|
Разраб.
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Н.
контр.
|
|
|
|
|
МК
|
Маршрутная
карта
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
