4

1

Разраб.

МГОУ

605124

605124 ОК

Пров..

Утв.

Кристал

Н. контр.

Наименование операции

Наименование, марка материала

МД

Контроль рельефа рисунка фоторезиста

Наименование оборудования

То

Тв

Обозначение иот

Микроскоп инспекционный Nikon Eclipse L200A

Р

Контролируемые параметры

Код средств ТО

Наименование средств ТО

Объем и ПК

То / Тв

01

Внешний вид изделия

Микроскоп Nikon Eclipse L200A

1. В процессе работы должна быть

02

(чистота пленки фоторезиста,

ТУ 3-3.1210– 75

отбракованна пластина в случае:

03

наличие проколов, геометрические

Пинцет ПС 160 30

- неполное удаление фоторезиста

04

размеры элементов рельефа)

ТУ 64 – 1 – 37 – 78

- наличие прополов и царапин на

05

рабочей поверхности фоторезиста

06

- изменение геометрических размеров

07

рельефа (сужения, уширения, разрывы)

08

2. При обнаружении брака разрешается:

09

- снять пластину с производства

10

направить на повторную обработку

11

направить в изолятор брака

12

13

14

ОК

Карта операционного контроля

5

1

МГОУ

605124

605124 ОКУ

В

Цех

УЧ.

РМ

Опер.

Код, наименование операции

Г

Обозначение документа

Д

Код, наименование оборудования

Т

Код, наименование технологической оснастки

Л/М

Наименование детали, сб. единицы или материала

О

Содержание операции(перехода)

ТО

В 1

Совмещение и экспонирование

2

Г 3

605124 ОКУ

4

Д 5

          EVG620                             Установку совмещения и экспонирования OSTEC

6

Т 7

          ТУ 64-1-37-78                  Пинцет ПС 160 3.0

8

Т 9

          ВТМ 4.189. 017                Тара для хранения пластин

10

М 11

          ТУ 25-05-1771-75             Вакуум

12

М 13

          ГОСТ   2874 – 82              Вода питьевая

14

М 15

          ГОСТ 18300 – 87              Спирт этиловый ректификованный технический

16

М 17

          ГОСТ  11680 – 76             Ткань хлопчатобумажная бязевой группы

18

Л 19

          605124                               Пластины с операции

20

21

22

23

24

25

26

27

28

Разраб.

Н. контр.

ОКУ

Операционная карта универсальная

2

МГОУ

605124

605124 ОКУ

Т

Код, наименование технологической оснастки

Л/М

Наименование детали, сб. единицы или материала

О

Содержание операции (перехода)

То

Настоящая технологическая операция предназначена для оптической контактной литографии.

1.       К работе на данной технологической операции допускаются лица, прошедшие аттестацию.

2.       Перед началом работы наладчику проверить срок аттестации оборудования, сделать отметку в журнале, при нарушении требований аттестации доложить руководителю подразделения.

3.       Технологические одежда и принадлежности (халат, тапочки и шапочка). Работающих на данной операции должны соответствовать требованиям ГОСТ 12.4.103-83.

4.       рабочее место содержать в соответствии с инструкцией.

5.       Замерять запыленность ежедневно с записью в журнале. Запыленность не должна превышать 3,5 пылинки размером более 0,5 мкм на 1 литр воздуха. Если степень запыленности превышает норму, к работе не приступать, сообщить руководителю.

       На данную технологическую операцию требования электронной гигиены составляют: класс чистоты на рабочем месте – 100, класс чистоты в общем объеме помещения – 1000, температура -22 + 0,5 0C, влажность – 40 + 5%.

6.       Протирать рабочее место салфетками, смоченными водой, не реже 3 раза в смену: перед началом работы, после обеденного перерыва и в конце смены.

7.       Протирать наконечники пинцетов салфетками, смоченными спиртом в начале работы и через 2-3 часа работы.

8.       Получить у руководителя по спирт и салфетки. Спирт хранить в бюксе, салфетки в стакане.

9.       Получить подложку в таре с предыдущей операции – 1я сушка фоторезиста.

       Время межоперационного хранения подложек не должно превышать 2х часов.

10.   При неисправностях оборудования остановить работу и сообщить руководителю подразделения

11.   Включить установку совмещения и экспонирования OSTEC EVG620.

12.   Включить подачу вакуума.

13.   Проверить работу воздушной завесы

14.   Загрузить подложку пинцетом в блок предварительного позиционирования установки.

15.   Активировать функцию – подготовка к работе, загрузка

16.   Визуально проконтролировать: предварительное позиционирование, транспортировку на манипулятор

- соответствует ли положение подложки на столике, нарисованному рядом эскизу

- устанавливает ли погрущик подложку в центр поворотного диска манипулятора

17.   После установи закрыть крышку манипулятора.

18.   Активировать функцию - автоматическая калибровка

19.   При появление надписи колеровка выполнена приступать к совмещению

20.   С помощью джойстика и монитора встроенного электронного микроскопа произвести совмещение:

- сначала грубое совмещение строк и столбцов,

- а затем точное совмещение по реперным знакам

21.   В меню экспонирование выбрать соответствующую программу

- номер программы взять у руководителя подразделения

22.   Активировать функцию – экспонирование

- Проконтролировать время по встроенному электронному секундомеру

- Проконтролировать освещенность по встроенному люксметру

- При снижение освещенности и появление соответствующей надписи на табло установки, остановить работу и сообщить руководителю подразделения о необходимости замены лампы осветителя.

23.   При соблюдение параметров программы сделать отметку в журнале

24.   Активировать функцию – разгрузка завершение работы

25.   Забрать подложку пинцетом со столика, поместить в тару

ОКУ

Операционная карта универсальная

3

МГОУ

605124

605124 ОКУ

Т

Код, наименование технологической оснастки

Л/М

Наименование детали, сб. единицы или материала

О

Содержание операции (перехода)

То

26.   Заполнить сопроводительный лист и рабочий журнал.

27.   Отправить подложку на следующую операцию проявление фоторезиста

28.   По окончании работы:

- выключить установку;

- перекрыть подачу вакуума;

29.   При работе на установке соблюдать требования по электробезопасности, установленные инструкцией по ТБ.

30.   Не приступать к работе на установке без получения общего инструктажа по технике безопасности, который проводится руководителем подразделения не реже одного раза в квартал с отметкой в журнале.

31.   Прекратить немедленно работу и сообщить руководителю подразделения, если при соприкосновении с установкой ощущается воздействие электрического тока.

32.   Ремонт и наладку установки производить только наладчику.

33.   Оператору запрещается вскрывать электрические блоки установки.

Уважаемый преподаватель курсовая скачена из интернета и студентом даже не прочитана

ОКУ

Операционная карта универсальная

Контакт

Электронный луч

Рентгеновское излучение

Минимальный размер

1

5

4

Производительность

4

1

1

Стоимость и простота шаблона

2

3

1

Чувствительность к рельефу

2

4

4

Простота резиста и его стоимость

4

1

1

Стоимость оборудования

5

1

2

Простота управления

5

4

3

Восприимчивость к дефектам

1

4

4

Перспективы развития для субмикронной литографии

1

5

3

Общий балл

26

32

26

Место

4

1

4